问题: 求助太上老君帮忙找资料
【题名】 超大规模集成电路的CVD薄膜淀积技术
【作者】
【杂志缩写】电子工程师 Electronic Engineer
【杂志名全称】电子工程师 Electronic Engineer
【年, 卷(期), 起止页码】 2000年26卷7期 -40-42页
http://engine.cqvip.com/content/citation.dll?id=4351846
解答:
文献信息
超大规模集成电路中的CVD薄膜淀积技术 电子工程师 2000/07 中国期刊全文数据库
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http://www.namipan.com/d/%E8%B6%85%E5%A4%A7%E8%A7%84%E6%A8%A1%E9%9B%86%E6%88%90%E7%94%B5%E8%B7%AF%E4%B8%AD%E7%9A%84CVD%E8%96%84%E8%86%9C%E6%B7%80%E7%A7%AF%E6%8A%80%E6%9C%AF.pdf/7bb2d5011e541fc562fa2a49ba20dddc30825334a7110400
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