唯:<象>形声。本义:急声回答声
<副>只有,只是
以,因为
<连>虽然,纵使
<助>表示肯定
用于句首,无实义

惟:<动>形声。本义:思考;思念
<副>只有,只是
表示动作、行为的重复,相当于“又”
相当于“犹”、“还”
用在句首,表希望、祈使
<连>表示并列关系,相当于“与”、“和”
表示顺承关系,相当于“则”
表示让步关系,相当于“即使”、“虽然”
<介>由于,以

惟独:就单单的意思
唯独:
具有在其他人中所不能找到的根本特点的
排除任何他人或他物的;再没有别的人或别的东西的
唯独他到达了
单单;只有

古汉语虚词词典中:
唯，可用作副词、连词、助词。先秦时已有用例，后一直沿用于文言中。现代汉语书面语也使用。
惟，可用作副词、连词、助词。先秦已普遍使用，后一直沿用于文言中。

《说文》中对两个字的本意解释:(可以看最前面的词霸上找的内容.)
“唯，诺也。”
“惟，凡思也。”
在字的本意上，二者是有差别的“唯”表一种应答，“惟”表示思考。
像“唯唯诺诺”就不能用“惟”。而且作为副词时“惟”没有表示“应答”的意思。
而“惟妙惟肖”就不能用“唯”

，“唯”并不能完全取代“惟”，只是，在现代汉语中，用到只能使用“惟”的情况并不多